Содержание

Введение …………………………………………………………………… 3-4

1. Сущность процесса маскирования при травлении в hf ………………. 5-8

2. Используемые типы травителей, режимы травления, типы масок ….. 9-15

3. Процесс травления стекла плавиковой кислотой …………………….. 16

4. Основная часть

4.1. Визуализация дефекта ……………………………………………….. 17-18

4.2. Растворы травления ………………………………………………….. 19-23

Заключение ………………………………………………………………… 24

Библиографический список ……………………………………………..... 25-26

Введение

Травление - это группа способов удаления поверхностного слоя материала с заготовки под действием специально подбираемых химических реактивов. Многие способы травления предусматривают активацию травящих реагентов посредством других физических явлений, к примеру, наложением внешнего электрического поля при электрохимическом травлении, ионизацией атомов и молекул реагентов при ионно-плазменном травлении.

В литературных источниках термин «травление», в основном, сопровождается определением, которое поясняет ко...